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如何清洗石英管?

2022-08-11 11:47:16 點(diǎn)擊數:

石英玻璃在半導體工業(yè)設備上,使用溫度經(jīng)常在1000℃到1300℃之高溫狀態(tài),在此種狀態(tài)下由于附著(zhù)不純物導致失透現象發(fā)生,失透之部分為石英之晶質(zhì)化,晶質(zhì)化之變態(tài)點(diǎn)為275℃,當石英玻璃自高溫降自此變態(tài)溫度時(shí),表面失透之晶質(zhì)化部分與石英玻璃本身高溫之α相與低溫之β相間膨脹系數不同在急速冷卻下產(chǎn)生不透明之剝離狀更嚴重時(shí)會(huì )造成破裂現象產(chǎn)生。 

 

為使石英制品能使用更久,就必須注意防止造成石英失透產(chǎn)生的原因,而造成失透的污染源就屬堿金屬、堿土金屬、汗水、口水、油污、塵埃……等等。 

 

且0.1mg/cm2l}k就會(huì )造成數十倍或數百倍的失透量。因此,防止這些污染源附著(zhù)在石英表面上除了不直接用空手去拿石英外,使用在高溫作業(yè)之前必先做清洗之工作以確保石英表面之潔凈度。一般石英之洗凈須要一些程序首先用純水先沖洗表面,再置入酸洗槽內浸泡一些時(shí)間,取出后再用純水沖洗后晾干。

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